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小型真空等離子(實驗室真空等離子)
  • 產品分類:真空等離子
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產品信息

產品參數

項目 規格
1 設備尺寸 530mm*538mm*674 mm(W*H*D)
2 電力需求 AC220V,50HZ
3 腔體尺寸 尺寸:210mm*210mm*220mm(W*H*D),9L 材質:鋁合金
4 電極形式 內置平板式電極,尺寸:180*185mm;
5 托盤載物 單層載物面積:150*170mm,共 2 層
6 真空泵 油泵,抽速:3L/S,極限真空:1Pa
7 等離子發生源 高頻 40kHZ,500w 連續可調
8 進氣系統 共 2 路進氣;0-500sccm 質量流量控制器
9 控制系統 PLC+觸摸屏
10 真空測量系統 日本愛發科皮拉尼真空計
11 處理時間 0-15min
12 工作真空度 5-80Pa
13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、空氣等
14 權限設置 兩級權限

 

設備外形及尺寸參考圖

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